プラズマ技術

低圧プラズマとは？

第 4 の状態の優しい力

物質は温度によりその状態を変化させます。一般的に知られている物質の凝集状態は、固体、液体、気体です。しかし、これらに続く状態が存在します。それがプラズマです。プラズマは、気体がイオン化された状態であり「第4 の状態」とも言われています。ガスとプラズマの違いは 高い電気伝導率と化学反応性です。

自然界に存在するプラズマとして挙げられるのは、雷、オーロラ、太陽などです。日常では、蛍光灯、省エネランプ、テレビなどにもプラズマの原理が使用されています。

人工的に発生させたプラズマ：プラズマランプ、溶接技術における放電アーク

低圧プラズマ – 熱を発生しないエネルギー

大気圧においてはプラズマは高熱を発します。例えば、炎やアーク放電等です。気圧を例えば 100 Pa に下げると、低温でプラズマを発生させることができます。いわゆる非熱プラズマです。

低圧プラズマ処理では、ガスの温度が低いため、加工する素材への加熱はごくわずかに抑えられます。しかしながら、その状態にて数百万度の温度に相当する電子エネルギーが発生します。つまり、低圧プラズマにより、プラスチックや温度に敏感な素材のプラズマによる処理が可能になったのです。

真空プラズマの原理

プラズマ技術 システム概要

V6-G

• テーブルトップ ユニット
• チャンバー寸法：170 x 200 x 170 mm
• マイクロ波出力：50 ～ 300 W
• ガスインレット 1 つ
• 接続：230 V、50/60 Hz
• 電力入力：0.5 kVA
• 寸法:640 x 710 x 710 mm

V10-G

• バッチ型システム
• チャンバ寸法 (Ø x D): 215 x 260 mm
• マイクロ波出力: 50 ～ 600 W
• ガスインレット 1 つs
• 接続: 400 V, 50/60 Hz
• 電力入力: 1,5 kVA
• 寸法: 720 x 820 x 820 mm

V15-G

• 19 インチキャビネット
• チャンバー寸法: 250 x 250 x 250 mm
• マイクロ波出力：100 ～ 600 W
• ガスインレット 1 つ
• 接続: 230/400 V, 50/60 Hz
• 電力入力：1.5 kVA
• 寸法: 630 x 900 x 1850 mm

V55-G

• 19 インチキャビネット
• チャンバー寸法: 400 x 460 x 340 mm
• マイクロ波出力：100 ～ 1200 W
• ガスインレット 2 つ
• S接続: 230/400 V, 50/60 Hz
• 電力入力: 2.2 kVA
• 寸法: 630 x 900 x 1850 mm

V80-G

• 19 インチキャビネット
• チャンバー寸法: 400 x 460 x 430 mm
• マイクロ波出力：100 ～ 1200 W
• ガスインレット 2 つ
• 接続: 230/400 V, 50/60 Hz
• 電力入力: 2.2 kVA
• 寸法: 630 x 900 x 1850 mm

V80-G-Side

• 19 インチキャビネット
• チャンバー寸法: 400 x 500 x 430 mm
• マイクロ波出力：100 ～ 1200 W
• ガスインレット 2 つ
• 接続: 230/400 V, 50/60 Hz
• 電力入力: 2.2 kVA
• 寸法: 850 x 900 x 1850 mm

インライン型システム

• インライン型プラズマ処理

特殊システム

• お客様のニーズに対応したソリューションを提供

オープンリール型システム

• フレキシブルテープのプラズマ処理用オープンリール型

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低圧プラズマによる表面加工

Application notes:例