低圧プラズマシステム V6-G

活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための標準システム

高性能テーブルトップ ユニット

テーブルトップ ユニットの標準システム V6-G は、少量生産加工や研究開発施設などでの使用に適しています。表面の加工処理プロセスにて洗浄および活性化を行うことができます。

PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを保存することができます。

低圧プラズマシステム V6-G

低圧プラズマシステム V6-G
データシート

データシート

システム型式 テーブルトップ ユニット
チャンバ寸法（W x D x H） 170 x 200 x 170 mm
プラズマ励起周波数 マイクロ波 (2.45 GHz)
マイクロ波出力 50 ～ 300 W
マスフロー制御ガスインレット 1 つ
電力供給 230 V, 50/60 Hz
電力入力 0.5 kVA
重量（ポンプユニット無） 100 kg
システム寸法（W x D x H） 640 x 710 x 710 mm
オプション

オプション

追加ガスインレット 2 つ
追加励起周波数
（40 kHz、13.56 MHz）		 –
ソフトスタート/スローベント はい。
側面部からのマイクロ波カップリング はい。
回転テーブル –
回転ドラム はい。
プルアウト式ドア –
自動ドア –
システムの特徴

システムの特徴

  • USB 接続
  • Ethernet インタフェース
  • リモートメンテナンス（VPN）
  • 上部からのマイクロ波カップリング
  • スイング式ドア

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型式

 V6-G V10-G V15-G V55-G V80-G-Side
システム型式 テーブルトップ ユニット テーブルトップ ユニット 19 インチキャビネット 19 インチキャビネット 19 インチキャビネット
チャンバ寸法
(W x D x H)
[mm]		 170 x 200 x 170 Ø215 x 260 250 x 250 x 250 400 x 460 x 340 400 x 500 x 430
マイクロ波出力
[W]		 50～300 50～600 100～600 100～1200 100～1200
マスフロー制御ガスインレット 1 つ 1 つ 1 つ 2 つ 2 つ
電力供給 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz
電源電力 (真空ポンプ入らず
[kVA]		 0.5 1.5 1.5 2.2 2.2
システム寸法
(W x D x H)
[mm]		 640 x 710 x 710 720 x 820 x 820 670 x 900 x 1850 670 x 900 x 1850 850 x 900 x 1850

オプション

          
追加ガスインレット 2 2 3 2 2
追加励起周波数
(40 kHz, 13.56 MHz)		 - - はい。 はい。 はい。
ソフトスタート/スローベント はい。 はい。 はい。 はい。 はい。
側面部からのマイクロ波カップリング はい。 - はい。 - はい。
回転テーブル - - はい。 はい。 はい。
回転ドラム はい。 - はい。 はい。 はい。
プルアウト式ドア - はい。 - はい。 はい。
自動ドア - - - はい。 はい。

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