事業分野

ソルダリング技術ソルダリング技術 システム概要
シンタリング技術シンターモジュールおよびシステム
乾燥技術乾燥技術 システム概要
プラズマ技術プラズマ技術 システム概要

製品の概要

ソルダリング技術 システム概要

モジュラー型VADUVADU Modular
  • 品質と技術で実績のあるモジュラー設計による真空はんだ付けシステム
VADU 100VADU 100
  • バッチ処理型システム
  • 真空チャンバー 1基（2ゾーン）
  • クリアランスの高さ：最大 50 mm
  • サイズ：1070 x 1400 x 1150 mm
VADU 200XL+W (Wafer)VADU 200XL Wafer
  • バッチ処理型システム (ウェハー)
  • 真空チャンバー： 2基
  • クリアランスの高さ：最大 100 mm
  • サイズ：1200 x 2110 x 1700 mm

シンターモジュール/システム概要

SIN 20Sintering system SIN 20
  • コンパクト型シンタリングシステム SIN 20 開発試作用途から少量生産用途まで
SIN 200+Sintering system SIN 200+
  • フレキシブル シンタリング システム SIN 200+ 高信頼性、高熱伝導率接合

乾燥技術 システム概要

VSDVSD
  • 真空乾燥システム
  • 乾燥原理：真空、熱
  • 温度：最大 200 °C
  • 容量：1 ～ 20 m2
  • ヒーティング：温水、サーモオイル
  • 素材：高級ステンレス、ハステロイ、インコネル、チタン等の特殊素材
  • 表面 研磨、ポリッシュド
VSDI VSDI
  • アイソレーター付き真空乾燥炉
  • 乾燥原理：真空、熱
  • 温度：最大 200 °C
  • 容量：0.2 ～ 2 m2
  • ヒーティング：温水、サーモオイル
  • 素材：高級ステンレス、ハステロイ、インコネル、チタン等の特殊素材
  • 表面 研磨、ポリッシュド
VSDINVSDIN
  • アイソレータ/アイソレータおよび圧力ヌッチェ装備真空乾燥システム
  • 乾燥原理：真空、熱
  • 温度：最大 200 °C
  • 容量：0.2 ～ 2 m2
  • ヒーティング：温水、サーモオイル
  • 素材：高級ステンレス、ハステロイ、インコネル、チタン等の特殊素材
  • 表面 研磨、ポリッシュド
VSD-eVSD-e
  • 真空乾燥システム
  • 乾燥原理：真空、熱
  • 温度：最大 200 °C
  • 容量：0.18 m2
  • 電気ヒーティング
  • 素材：高級ステンレス、ハステロイ、インコネル、チタン等の特殊素材
  • 表面 研磨、ポリッシュド
VTVT
  • 真空乾燥システム
  • 乾燥原理：真空、熱
  • 温度：最大 200 °C
  • 容量：1 ～ 20 m2
  • ヒーティング：温水、サーモオイル、電気
  • 素材：高級ステンレス
  • 表面 研磨、ポリッシュド
UTUT
  • コンベクション乾燥オーブン
  • 乾燥原理：対流、熱
  • 温度：最大 250 °C
  • 容量：0.8 ～ 12 m3
  • ヒーティング：温水、サーモオイル、電気、蒸気
  • 素材：高級ステンレス
  • 表面 研磨、ポリッシュド、ブライトロールド
VUTVUT
  • 真空コンベクション乾燥システム
  • 乾燥原理：真空、対流、熱
  • 温度：最大 200 °C
  • 容量：要望による
  • ヒーティング：温水、サーモオイル、電気
  • 素材：高級ステンレス
  • 表面 研磨、ポリッシュド、ブライトロールド

プラズマ技術 システム概要

V6-GV 6-G
  • テーブルトップ ユニット
  • チャンバー寸法：170 x 200 x 170 mm
  • マイクロ波出力：50 ～ 300 W
  • ガスインレット 1 つ
  • 接続：230 V、50/60 Hz
  • 電力入力：0.5 kVA
  • 寸法:640 x 710 x 710 mm
V10-GV 10-G
  • バッチ型システム
  • チャンバ寸法 (Ø x D): 215 x 260 mm
  • マイクロ波出力: 50 ～ 600 W
  • ガスインレット 1 つs
  • 接続: 400 V, 50/60 Hz
  • 電力入力: 1,5 kVA
  • 寸法: 720 x 820 x 820 mm
V15-GV 15-G
  • 19 インチキャビネット
  • チャンバー寸法: 250 x 250 x 250 mm
  • マイクロ波出力：100 ～ 600 W
  • ガスインレット 1 つ
  • 接続: 230/400 V, 50/60 Hz
  • 電力入力：1.5 kVA
  • 寸法: 630 x 900 x 1850 mm
V55-GV 55-G
  • 19 インチキャビネット
  • チャンバー寸法: 400 x 460 x 340 mm
  • マイクロ波出力：100 ～ 1200 W
  • ガスインレット 2 つ
  • S接続: 230/400 V, 50/60 Hz
  • 電力入力: 2.2 kVA
  • 寸法: 630 x 900 x 1850 mm
V80-GV 80-G
  • 19 インチキャビネット
  • チャンバー寸法: 400 x 460 x 430 mm
  • マイクロ波出力：100 ～ 1200 W
  • ガスインレット 2 つ
  • 接続: 230/400 V, 50/60 Hz
  • 電力入力: 2.2 kVA
  • 寸法: 630 x 900 x 1850 mm
V80-G-SideV 80-G Side
  • 19 インチキャビネット
  • チャンバー寸法: 400 x 500 x 430 mm
  • マイクロ波出力：100 ～ 1200 W
  • ガスインレット 2 つ
  • 接続: 230/400 V, 50/60 Hz
  • 電力入力: 2.2 kVA
  • 寸法: 850 x 900 x 1850 mm
インライン型システムインライン型システム
  • インライン型プラズマ処理
特殊システム特殊システム
  • お客様のニーズに対応したソリューションを提供
オープンリール型システムオープンリール型システム
  • フレキシブルテープのプラズマ処理用オープンリール型