Niederdruck-Plasmaanlage V80-G-Side

Standardsystem zum Aktivieren, Reinigen, Beschichten und Ätzen

Die Anlage V80-G-Side ist sowohl für die industrielle Fertigung als auch für den Laborbereich in Forschung und Entwicklung geeignet. Eine vollwertige SPS-Steuerung dient zur Speicherung von voreinstellbaren Prozessen mit unterschiedlichen Parametern.

Niederdruck-Plasmaanlage V80-G-Side

Niederdruck-Plasmaanlage V80-G
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Datenblatt

Anlagentyp 19"-Schrank
Kammerabmessungen (B x T x H) 400 x 500 x 430 mm
Mikrowellenleistung 100-1.200 W
Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control 2
Elektrischer Anschluss 230/400 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung (ohne Pumpe) 2,2 kVA
Anlagenabmessungen (B x T x H) 850 x 900 x 1.850 mm
Mikrowelleneinkopplung von der Seite JA
Icon Optionen

Optionen

Zusätzliche Gaseinlässe 2
Weitere Anregungsfrequenzen
(40 kHz, 13,56 MHz)		 JA
Softstart / Softbelüftung JA
Drehtisch JA
Drehtrommel JA
Türauszug JA
Automatische Türöffnung JA
Icon Systemeigenschaften

Systemeigenschaften

  • USB-Anschluss
  • Ethernet-Schnittstelle
  • Fernwartung (VPN)
  • Mikrowellenanregung (2,45 GHz)
  • Schwenktür

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Typ

 V6-G V10-G V15-G V55-G V80-G-Side
Anlagentyp Tischgerät Tischgerät 19"-Schrank 19"-Schrank 19"-Schrank
Kammerabmessungen
(B x T x H)
[mm]		 170 x 200 x 170 Ø215 x 260 250 x 250 x 250 400 x 460 x 340 400 x 500 x 430
Mikrowellenleistung
[W]		 50-300 50-600 100-600 100-1.200 100-1.200
Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control 1 1 1 2 2
Elektrischer Anschluss 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung (ohne Pumpe)
[kVA]		 0,5 1,5 1,5 2,2 2,2
Anlagenabmessungen
(B x T x H)
[mm]		 640 x 710 x 710 720 x 820 x 820 670 x 900 x 1.850 670 x 900 x 1.850 850 x 900 x 1.850

Optionen

          
Zusätzliche
Gaseinlässe		 2 2 3 2 2
Weitere Anregungsfrequenzen
(40 kHz, 13,56 MHz)		 - - JA JA JA
Softstart / Softbelüftung JA JA JA JA JA
Mikrowellen-
einkopplung von der Seite		 JA - JA - JA
Drehtisch - - JA JA JA
Drehtrommel JA - JA JA JA
Türauszug - JA - JA JA
Automatische Türöffnung - - - JA JA

Weiteres