Effiziente Verfahren für beste Ergebnisse

Breites Anwendungsspektrum

Niederdruckplasma wird durch das Anlegen von elektromagnetischen Feldern erzeugt. Die hierbei ablaufenden chemischen und physikalischen Prozesse hängen von der Art des Gases und der Anregungsfrequenz ab. Das eingesetzte Prozessgas – das auch ein Gasgemisch sein kann – bestimmt, ob ein neutrales, oxidierendes oder reduzierendes Plasma entsteht.

Neutrale Plasmen

Sie entstehen z.B. aus Edelgasen und ihre Wirkung beruht auf physikalischen Effekten: Verunreinigungen werden durch ein Bombardement mit schweren Ionen entfernt (Sputtern). Eine niedrige Anregungsfrequenz (kHz) verstärkt diese Wirkung beträchtlich, da die Ionen dann wesentlich höhere Geschwindigkeiten erreichen, mit denen sie auf die Oberfläche treffen. Dieses Verfahren hat seine Grenzen dort, wo das Behandlungsgut selbst der Belastung durch schnelle Ionen und dem damit verbundenen Wärmeübertrag nicht gewachsen ist.

Reaktive Plasmen

Sie entstehen z.B. aus Sauerstoff, Wasserstoff oder Fluorkohlenstoff-Verbindungen. Die damit einhergehende oxidierende, reduzierende bzw. funktionalisierende Wirkung beruht auf den im Plasma vorhandenen Ionen und Radikalen, die Reaktionen mit dem Material des Substrats bzw. der aufliegenden Verunreinigung eingehen. Es hinterlässt aktivierte, passivierte oder besonders saubere Oberflächen.

Eine hohe Anregungsfrequenz (GHz) ist günstig für solche Reaktionen, da sie eine hohe Ionendichte im Plasma erzeugt und die Reaktionen dadurch sehr schnell vonstattengehen. Gleichzeitig bleiben die Ionenenergien niedrig, wodurch Sputtereffekte und Wärmebelastung entfallen bzw. minimiert werden.

Umweltschonend und effizient

Diese Verfahren der Niederdruck-Plasmatechnologie sind nicht nur äußerst wirksam, sondern auch ökologisch neutral und ökonomisch sinnvoll, da in der Regel keine umweltschädlichen Abfallprodukte anfallen und somit keine Entsorgungskosten entstehen.