Niederdruck-Plasmaanlage V10-G

Leistungsfähiges Batch-System zur Entfernung von Fotolack

Die Batch-Anlage V10-G wurde zur Entfernung von Fotolacken konzipiert und ist darüber hinaus sehr gut für die Waferreinigung geeignet.

Niederdruck-Plasmaanlage V10-G

Niederdruck-Plasmaanlage V10-G
Anwendungen

Anwendungen

  • Hervorragend geeignet zur Entfernung von Fotolackschichten (auch SU-8) nach Trockenprozessen wie RIE oder Elektronenstrahlätzen sowie nach High-Dose-Implantation
  • Zur Verbesserung der Benetzbarkeit vor Nassprozessen können Siliziumwafer oder andere Substrate behandelt werden
  • Einsetzbar für Prozesse in der MEMS- und Nanotechnologie
  • Entfernen von Polymerresten nach dem Bosch-Prozess
  • Entfernen von organischen Opferschichten
  • Konditionierung von bioaktiven Schichtaufbauten
Icon Datenblatt

Datenblatt

Anlagentyp Tischgerät
Kammerabmessungen (Ø x T) 215 x 260 mm
Mikrowellenleistung 50-600 W
Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control 1 Kanal
Elektrischer Anschluss 230 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung (ohne Pumpe) 1,5 kVA
Druckmessung Pirani
Anlagenabmessungen (B x T x H) 720 x 820 x 820 mm
Icon Optionen

Optionen

Vakuumpumpe JA
Ozonfalle JA
Weitere Gaseinlässe bis zu 2
Softstart / Softbelüftung JA
Faraday-Käfig JA
Prozessdruck-Regelventil JA
Icon Systemeigenschaften

Systemeigenschaften

  • Prozesskammer: Quarzglas
  • Türauszug
  • Anlagensteuerung: SPS (S7-300)
  • Resistiver Touch-Panel mit Windows-Betriebssystem (auch mit Handschuhen bedienbar)
  • Fernwartung (VPN)
  • Ethernet-Schnittstelle

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Typ

V6-G V10-G V15-G V55-G V80-G-Side
Anlagentyp Tischgerät Tischgerät 19"-Schrank 19"-Schrank 19"-Schrank
Kammerabmessungen
(B x T x H)
[mm]
170 x 200 x 170 Ø215 x 260 250 x 250 x 250 400 x 460 x 340 400 x 500 x 430
Mikrowellenleistung
[W]
50-300 50-600 100-600 100-1.200 100-1.200
Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control 1 1 1 2 2
Elektrischer Anschluss 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz 230 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung (ohne Pumpe)
[kVA]
0,5 1,5 1,5 2,2 2,2
Anlagenabmessungen
(B x T x H)
[mm]
640 x 710 x 710 720 x 820 x 820 670 x 900 x 1.850 670 x 900 x 1.850 850 x 900 x 1.850

Optionen

         
Zusätzliche
Gaseinlässe
2 2 3 2 2
Weitere Anregungsfrequenzen
(40 kHz, 13,56 MHz)
- - JA JA JA
Softstart / Softbelüftung JA JA JA JA JA
Mikrowellen-
einkopplung von der Seite
JA - JA - JA
Drehtisch - - JA JA JA
Drehtrommel JA - JA JA JA
Türauszug - JA - JA JA
Automatische Türöffnung - - - JA JA

Weiteres