| UHV-Systeme |
| Schicht für Schicht - Beschichtung und Analytik |
| Der Produktbereich UHV-Systeme beschäftigt sich schwerpunktmäßig mit der
Auslegung und Montage von UHV-Beschichtungsanlagen und Oberflächenanalyse-Systemen |
|
|
|
UHV-Magnetron-Sputteranlage für gleichzeitige Beschichtung von vier Substraten mit 150 mm Durchmesser
UHV-Cluster-Tool-Beschichtungsanlage zur Herstellung von Röntgenspiegeln.
UHV-Beschichtungsanlage mit Schleuse für Materialentwicklung in der Laserphysik.
