zur Funktionsprüfung von
Baugruppen oder Elektronikkomponenten
unter Weltraumbedingungen
•Hochvakuumrezipient aus Edelstahl
•Kubische oder zylindrische Kammern
•Schwingungsgedämpfte Aufstellung
•Geregelter Temperaturbereich für Shroud und
Thermal-Tisch: 120 °K bis 400 °K
•Temperiermedien: Flüssigstickstoff (LN2) oder
FLUORINERT
®
•Shrouds in optisch dichter und vakuumtechnisch
optimierter Gestaltung
•Mehrkreisregelung
•Temperaturführung nach Kaltwand oder Substrat
•Ölfreie Hochvakuum-Pumpsysteme bis 10-8 mbar
•SPS für Thermal- und Vakuumprozess
•Visualisierung und Datenarchivierung
•Aufstellung/Montage/Inbetriebnahme/Service
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