VADU300 Warenträger

インライン型リフローシステム VADU 300XL

自動搬送真空リフローシステム

3 基の分離されたチャンバを装備したリフローシステム VADU300XL は、インライン対応のキャリア搬送やライン内部でのサブストレート処理を行う大量生産に適したシステムです。このシステムは、連続プロセスにおけるプリフォームおよび(もしくは)ペーストでのボイドフリーソルダリング接続を可能にします。ソルダリングプロセスの再現性は、パーマネントプロセスコントロールにより保証されています。

VADU 300XL は、お客様の自動化プロセスに統合することも可能です。搬送システムによるキャリア搬送の最適化からピック&プレース・ロボティックハンドラー等の周辺機器との接続まで、PINK はお客様の要望に沿ったソリューションを開発します。



システム型式 インライン型システム
バキュームチャンバ数 3 基
プロセス領域 (W x D) 410 x 280 mm
クリアランス高さ 最大 100 mm
真空 (標準) ≤ 2 mbar
システム寸法 (W x D x H) 2340 x 1760 x 1800 mm
ポンプユニット寸法 1000 x 700 x 1800 mm
重量 2000 kg (ポンプユニット無)
電力供給 3相、400 V (50 / 60 Hz)
電力入力 25 kVA
SMEMA インターフェース
オプション:  
ウェハー 12 インチまで
誘導加熱
操作/搬送システム
高真空

システムの特徴

  • ボイドフリーソルダリング接続
  • プリフォーム、ハンダペースト対応
  • 独立したソルダリングプロファイル
  • 400℃までのソルダリング温度
  • 温度勾配制御
  • 短いサイクルタイム
  • 分離されたソルダリングと冷却チャンバ
  • ギ酸(蟻酸)プロセス
  • フラックス・マネジメント
  • 不活性ガス雰囲気
  • 残留酸素含有量 < 5 ppm
  • ソルダリング結果の高再現性
  • トレーサビリティ
  • パーマネントプロセスコントロール
  • Ethernet インタフェース
  • リモートメンテナンス(VPN)
  • エネルギーおよびメディアの低消費
  • 国際的特許取得システム

ロボシステム装備 VADU 300XL に関する詳細