ソルダリング技術 システム概要

VADU 100 systemuebersicht
VADU 100
バッチ処理型システム
バキュームチャンバ 1 つ
クリアランスの高さ:最大 50 mm
サイズ:1070 x 1400 x 1150 mm
VADU 200XL Systemuebersicht
VADU 200XL
バッチ処理型システム
バキュームチャンバ 2 つ
クリアランスの高さ:最大 100 mm
サイズ:1200 x 2110 x 1700 mm
 
VADU 200XL-W
ウェハー
VADU 300XL systemuebersicht
VADU 300XL
インライン型システム
バキュームチャンバ 3 つ
クリアランスの高さ:最大 100 mm
サイズ:2340 x 1760 x 1800 mm