低圧プラズマシステム V80-G

活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための
標準システム

システム V80-G は、産業加工および研究開発施設等での使用に適しています。

PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを保存することができます。

システム型式 19 インチキャビネット
チャンバ寸法(W x D x H) 400 x 460 x 430 mm
プラズマ励起周波数 マイクロ波(2.45 GHz)
マイクロ波出力 100 ~ 1200 W
マスフロー制御ガスインレット 2 つ
電力供給 230/400 V、50/60 Hz
電力入力 2.2 kVA
重量(ポンプユニット無) 350 kg
システム寸法(W x D x H) 630 x 900 x 1850 mm
オプション:  
追加ガスインレット 2 つ
追加励起周波数
(40 kHz、13.56 MHz)
ソフトスタート/スローベント
側面部からのマイクロ波カップリング
回転テーブル
回転ドラム
プルアウト式ドア
自動ドア
 

システムの特徴

  • USB 接続
  • Ethernet インタフェース
  • リモートメンテナンス(VPN)
  • 上部からのマイクロ波カップリング
  • スイング式ドア