低圧プラズマシステム V6-G

活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための標準システム

高性能テーブルトップ ユニット

テーブルトップ ユニットの標準システム V6-G は、少量生産加工や研究開発施設などでの使用に、適しています。表面の加工処理プロセスにて、洗浄および活性化を行うことができます。

PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを、保存することができます。

システム型式 テーブルトップ ユニット
チャンバ寸法(W x D x H) 170 x 200 x 170 mm
プラズマ励起周波数 マイクロ波 (2.45 GHz)
マイクロ波出力 50 ~ 300 W
マスフロー制御ガスインレット 1 つ
電力供給 230 V, 50/60 Hz
電力入力 0.5 kVA
重量(ポンプユニット無) 100 kg
システム寸法(W x D x H) 640 x 710 x 710 mm
オプション:  
追加ガスインレット 2 つ
追加励起周波数
(40 kHz、13.56 MHz)
ソフトスタート/スローベント
側面部からのマイクロ波カップリング
回転テーブル
回転ドラム
プルアウト式ドア
自動ドア

システムの特徴

  • USB 接続
  • Ethernet インタフェース
  • リモートメンテナンス(VPN)
  • 上部からのマイクロ波カップリング
  • スイング式ドア