低圧プラズマシステム V55-G

活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための標準シ
ステム

システムは、フットとキャスターを装備した 19 インチシェルフで、構成されています。表面の加工処理プロセスにて、洗浄、活性化、エッチング、コーティングを行うことができます。

システム型式 19 インチキャビネット
チャンバ寸法(W x D x H) 400 x 460 x 340 mm
プラズマ励起周波数 マイクロ波(2.45 GHz)
マイクロ波出力 100 ~ 1200 W
マスフロー制御ガスインレット 2 つ
電力供給 230/400 V、50/60 Hz
電力入力 2.2 kVA
重量(ポンプユニット無) 270 kg
システム寸法(W x D x H) 630 x 900 x 1850 mm
オプション:  
追加ガスインレット 2 つ
追加励起周波数
(40 kHz、13.56 MHz)
ソフトスタート/スローベント
側面部からのマイクロ波カップリング
回転テーブル
回転ドラム
プルアウト式ドア
自動ドア

システムの特徴

  • USB 接続
  • Ethernet インタフェース
  • リモートメンテナンス(VPN)
  • 上部からのマイクロ波カップリング
  • スイング式ドア