低圧プラズマシステム V15-G
活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための
標準システム
このシステムは、高さ調節が可能なフットとキャスターを装備した 19 インチシェルフで構成されています。PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを保存することができます。
| システム型式 | 19 インチキャビネット |
| チャンバ寸法（W x D x H） | 250 x 250 x 250 mm |
| プラズマ励起周波数 | マイクロ波（2.45 GHz） |
| マイクロ波出力 | 100 ～ 600 W |
| マスフロー制御ガスインレット | 1 つ |
| 電力供給 | 230/400 V, 50/60 Hz |
| 電力入力 | 1.5 kVA |
| 重量（ポンプユニット無） | 180 kg |
| システム寸法（W x D x H） | 630 x 900 x 1850 mm |
| オプション： | |
| 追加ガスインレット | 3 つ |
| 追加励起周波数 （40 kHz、13.56 MHz） |
√ |
| ソフトスタート/スローベント | √ |
| 側面部からのマイクロ波カップリング | √ |
| 回転テーブル | √ |
| 回転ドラム | √ |
| プルアウト式ドア | – |
| 自動ドア | – |
システムの特徴
- USB 接続
- Ethernet インタフェース
- リモートメンテナンス（VPN）
- 上部からのマイクロ波カップリング
- スイング式ドア
