低圧プラズマシステム V15-G
活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための
標準システム
このシステムは、高さ調節が可能なフットとキャスターを装備した 19 インチシェルフで構成されています。PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを保存することができます。

システム型式 | 19 インチキャビネット |
チャンバ寸法(W x D x H) | 250 x 250 x 250 mm |
プラズマ励起周波数 | マイクロ波(2.45 GHz) |
マイクロ波出力 | 100 ~ 600 W |
マスフロー制御ガスインレット | 1 つ |
電力供給 | 230/400 V, 50/60 Hz |
電力入力 | 1.5 kVA |
重量(ポンプユニット無) | 180 kg |
システム寸法(W x D x H) | 630 x 900 x 1850 mm |
オプション: | |
追加ガスインレット | 3 つ |
追加励起周波数 (40 kHz、13.56 MHz) |
√ |
ソフトスタート/スローベント | √ |
側面部からのマイクロ波カップリング | √ |
回転テーブル | √ |
回転ドラム | √ |
プルアウト式ドア | – |
自動ドア | – |
システムの特徴
- USB 接続
- Ethernet インタフェース
- リモートメンテナンス(VPN)
- 上部からのマイクロ波カップリング
- スイング式ドア