プラズマ技術 システム概要(標準システム)

VADU 100 systemuebersicht
V6-G
テーブルトップ ユニット
チャンバー寸法:
170 x 200 x 170 mm
周波数:
マイクロ波(2.45 GHz)
マイクロ波出力:
50 ~ 300 W
ガスインレット 1 つ
接続:230 V、50/60 Hz
電力入力:0.5 kVA
重量:100 kg
寸法:
640 x 710 x 710 mm
Plasmaanlage V 10-G
V10-G
バッチ型システム
チャンバ寸法 (Ø x D):
215 x 260 mm
周波数:
マイクロ波 (2,45 GHz)
マイクロ波出力:
50 ~ 600 W
ガスインレット 1 つ
接続: 400 V, 50/60 Hz
電力入力: 1,5 kVA
重量: 150 kg
寸法:
720 x 820 x 820 mm
Plasma system V15-G
V15-G
19 インチキャビネット
チャンバー寸法:
250 x 250 x 250 mm
周波数:
マイクロ波 (2,45 GHz)
マイクロ波出力:
100 ~ 600 W
ガスインレット 1 つ
接続: 230/400 V, 50/60 Hz
電力入力:1.5 kVA
重量: 180 kg
寸法:
630 x 900 x 1850 mm
Plasma system V55-G
V55-G
19 インチキャビネット
チャンバー寸法:
400 x 460 x 340 mm
周波数:
マイクロ波(2.45 GHz)
マイクロ波出力:
100 ~ 1200 W
ガスインレット 2 つ
接続: 230/400 V, 50/60 Hz
電力入力: 2.2 kVA
重量: 270 kg
寸法:
630 x 900 x 1850 mm
Plasma system V80-G
V80-G
19 インチキャビネット
チャンバー寸法:
400 x 460 x 430 mm
周波数:
マイクロ波(2.45 GHz)
マイクロ波出力:
100 ~ 1200 W
ガスインレット 2 つ
接続: 230/400 V, 50/60 Hz
電力入力: 2.2 kVA
重量: 350 kg
寸法:
630 x 900 x 1850 mm