低圧プラズマシステム V15-G

活性化、洗浄、コーティング、エッチングのための
標準システム

このシステムは、高さ調節が可能なフットとキャスターを装備した 19 インチシェルフで構成されています。PLC 制御機能により、様々なパラメータで設定したプロセスを保存することができます。

システム型式 19 インチキャビネット
チャンバ寸法(W x D x H) 250 x 250 x 250 mm
プラズマ励起周波数 マイクロ波(2.45 GHz)
マイクロ波出力 100 ~ 600 W
マスフロー制御ガスインレット 1 つ
電力供給 230/400 V, 50/60 Hz
電力入力 1.5 kVA
重量(ポンプユニット無) 180 kg
システム寸法(W x D x H) 630 x 900 x 1850 mm
オプション:  
追加ガスインレット 3 つ
追加励起周波数
(40 kHz、13.56 MHz)
ソフトスタート/スローベント
側面部からのマイクロ波カップリング
回転テーブル
回転ドラム
プルアウト式ドア
自動ドア
 

システムの特徴

  • USB 接続
  • Ethernet インタフェース
  • リモートメンテナンス(VPN)
  • 上部からのマイクロ波カップリング
  • スイング式ドア