Niederdruck-Plasmaanlage V6-G

Standardsystem zum Aktivieren, Reinigen, Beschichten und Ätzen

Leistungsfähiges Tischgerät

Die Standard-Anlage V6-G ist als Tischgerät sowohl für die industrielle Kleinserienfertigung als auch für den Laborbereich in Forschung und Entwicklung geeignet. Sie kann für die Oberflächenbehandlungsverfahren Reinigen und Aktivieren eingesetzt werden.

Eine vollwertige SPS-Steuerung dient zur Speicherung von voreinstellbaren Prozessen mit unterschiedlichen Parametern.

Anlagentyp Tischgerät
Kammerabmessungen (B x T x H) 170 x 200 x 170 mm
Mikrowellenleistung 50-300 W
Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control 1
Elektrischer Anschluss 230 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung (ohne Pumpe) 0,5 kVA
Anlagenabmessungen (B x T x H) 640 x 710 x 710 mm
Optionen:  
Zusätzliche Gaseinlässe 2
Weitere Anregungsfrequenzen
(40 kHz, 13,56 MHz)
Soft start/slow vent
Mikrowelleneinkopplung von der Seite
Drehtisch
Drehtrommel
Türauszug
Automatische Türöffnung

Systemeigenschaften

  • USB-Anschluss
  • Ethernet-Schnittstelle
  • Fernwartung (VPN)
  • Mikrowellenanregung (2,45 GHz)
  • Schwenktür