Niederdruck-Plasmaanlage V15-G

Standardsystem zum Aktivieren, Reinigen, Beschichten und Ätzen

Die Anlage ist in einem 19“- Schrank aufgebaut, der mit Rollen und höhenverstellbaren Füßen ausgestattet ist. Eine vollwertige SPS-Steuerung dient zur Speicherung von voreinstellbaren Prozessen mit unterschiedlichen Parametern.

Anlagentyp 19"-Schrank
Kammerabmessungen (B x T x H) 250 x 250 x 250 mm
Mikrowellenleistung 100-600 W
Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control 1
Elektrischer Anschluss 230/400 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung (ohne Pumpe) 1,5 kVA
Anlagenabmessungen (B x T x H) 670 x 900 x 1.850 mm
Optionen:  
Zusätzliche Gaseinlässe 3
Weitere Anregungsfrequenzen
(40 kHz, 13,56 MHz)
Soft start/slow vent
Mikrowelleneinkopplung von der Seite
Drehtisch
Drehtrommel
Türauszug
Automatische Türöffnung

Systemeigenschaften

  • USB-Anschluss
  • Ethernet-Schnittstelle
  • Fernwartung (VPN)
  • Mikrowellenanregung (2,45 GHz)
  • Schwenktür