Wafer

Vakuum-Lötanlage VADU 200XL-W

Löten von Substraten und Wafern in der Serienfertigung

Die Lötanlage des Typs VADU 200XL-W ist mit zwei getrennten Prozesskammern ausgestattet und sowohl für Pasten- als auch Preformlötungen ausgelegt.

Die VADU 200 XL-W ermöglicht das Löten von Wafern bis zu 12 Zoll. PINK bietet hierfür auch kundenspezifische Werkstückträger.

Sie ermöglicht eine präzise Regelung und Kontrolle aller relevanten Prozessparameter wie z.B. der Temperaturgradienten beim Aufheizen und Abkühlen. Aufgrund des intelligenten Temperaturmanagements verfügen die Systeme über sehr kurze Zykluszeiten und eine ausgezeichnete Temperaturkonstanz.

VADU200XL W

Anlagentyp Batch System
Anzahl Vakuumkammern 2 Kammern
Nutzfläche (B x T) 410 x 320 mm
Durchschleushöhe max. 100 mm
Vakuum (Standard) ≤ 2 mbar
Anlagenabmessungen (B x T x H) 1.200 x 1.890 x 1.680 mm
Abmessungen des Pumpstands Integriert
Gewicht 1.200 kg
Elektrischer Anschluss 3 x 400 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung 10 kVA
SMEMA-Schnittstelle
Optionen:  
Handling-/Transfersysteme
Integrierte MES-Schnittstellen (z.B. SECS/GEM)


Systemeigenschaften

  • Lunkerfreie Lötverbindungen
  • Löten mit Preforms und / oder Pasten
  • Individuelle Lötprofile
  • Prozesstemperaturen bis 400 °C
  • Geregelte Temperaturgradienten
  • Kurze Zykluszeiten
  • Wafer bis 12"
  • Separate Löt- und Kühlkammer
  • Ameisensäureprozess für flussmittelfreie Lötungen
  • Kondensatabscheidung
  • Inerte Schutzgasatmosphäre
  • Restsauerstoffgehalt < 5 ppm
  • Reproduzierbarkeit der Lötergebnisse
  • Traceability (Rückverfolgbarkeit)
  • Stetige Prozesskontrolle
  • Ethernet-Schnittstelle
  • Fernwartung (VPN)
  • Geringer Energie- und Medienverbrauch
  • International patentiertes System